?10月12日，安徽壹月科技有限公司半導(dǎo)體高純電子工藝設(shè)備生產(chǎn)制造基地項目投產(chǎn)啟動儀式暨十周年慶典圓滿完成。

據(jù)介紹，壹月科技半導(dǎo)體高純電子工藝設(shè)備制造基地項目位于合肥新橋科技示范區(qū)，占地約20畝，總建筑面積約2萬平方米。

項目投產(chǎn)后，將具備年產(chǎn)特氣設(shè)備2500臺、年產(chǎn)化學(xué)品成套設(shè)備180臺、年產(chǎn)尾氣處理設(shè)備480臺、年產(chǎn)氣體生產(chǎn)成套設(shè)備60臺產(chǎn)能規(guī)模，有效填補(bǔ)合肥經(jīng)開區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)中工藝介質(zhì)輸送設(shè)備產(chǎn)業(yè)的空白。