天眼查顯示,蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司近日取得一項名為“半導體材料生長速率的測試方法”的專利,授權公告號為CN118168882B,授權公告日為2024年10月11日,申請日為2024年5月14日。
本發明提供一種半導體材料生長速率的測試方法,包括:對半導體襯底層進行刻蝕之后,在半導體襯底層的表面交替外延第一半導體層和第二半導體層,第一半導體層和第二半導體層均包括相同的主半導體材料;第一半導體層的導電類型和第二半導體層的導電類型不同;或者,第一半導體層還包括第一摻雜離子,第二半導體層還包括第二摻雜離子,第一摻雜離子的濃度和第二摻雜離子的濃度不同;沿晶向進行切割,形成切割面;對切割面進行顯微鏡測試,獲取不同晶向對應的第一半導體層和/或第二半導體層的測試厚度;根據不同晶向對應的測試厚度、以及第一半導體層和/或第二半導體層的外延時間獲取不同晶向的生長速率。